選擇用于電暈放電臭氧發(fā)生器的原料氣體會對設備的使用壽命產生很大影響。如果在沒有干燥器的情況下使用空氣作為原料氣，則會在臭氧發(fā)生器中形成硝酸。硝酸是一種非常強的酸，可以快速腐蝕設備。與臭氧一起使用的設備的設計并不能確保該設備也能抵抗硝酸的腐蝕。如果使用未干燥的空氣作為原料氣，連接到電暈放電臭氧發(fā)生器出口的任何部件或氣體處理設備都可能損壞。此外，硝酸會與空氣原料氣中的污染物發(fā)生反應，并在發(fā)生器下游的管道和設備中產生化學殘留物。

　　避免在電暈放電發(fā)生器中產生硝酸和防止設備中殘留污染的理想方法是使用干氧作為原料氣以防止在設備中產生污染。

　　在原料氣進入臭氧發(fā)生器之前，空氣干燥器應該對空氣進行干燥。環(huán)境空氣中含有水分，會與臭氧發(fā)生反應。這會導致每千瓦時的臭氧產量降低。高濕度的另一個問題是會發(fā)生不希望的反應在電暈裝置中。當存在更多的水蒸氣時，發(fā)生火花放電時會形成大量的氮氧化物。氮氧化物會形成硝酸，從而導致腐蝕。

　　空氣制備系統(tǒng)降低了原料氣的露點。潮濕的原料氣（空氣）會導致發(fā)生器內部形成硝酸，從而減少臭氧的產生，如果不去除，會導致發(fā)生器內部部件腐蝕并失效。